LF400-S气体质量流量计质量流量控制器的简单介绍
对不含水分的洁净气体流量进行精确检测和控制
LF400-S气体质量流量计质量流量控制器的详细信息
功能 | 流量计/控制器 | 基本型号 | LF400-S | 满量程流量范围(N2) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 | SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | 精度(%F.S) | ±1(≤15SLM) | ±1.5(>15SLM.) | 控制阀动作型式 | 常闭式 | 线性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | ±1.5%(>15SLM.) | 重复精度(%F.S.) | ±0.2 | 响应时间(sec) | ≤1 | 流量输出信号 | 0-+5.00V | 流量设定信号 | 0-+5.00V | 电器接头 | DB15 pin(接头) | 工作环境温度 | (℃) | 5~45 | 工作压差 | (MPa) | 0.1~0.5 | 漏率 | SCCSHe | 1×10-9 | 最大耐压 | 3MPa | 介质接触材质 | 304,316,316L | 密封材料 | 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯 | 接头 | VCR " 1/4、1/2 | Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | 接头和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | 电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | 重量 | 1.0KG |
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