ALICAT 23系列带集成截止阀气体质量流量控制器的简单介绍Alicat的23系列质量流量控制器是根据真空涂层和喷溅过程中所要求快速关闭功能而设计的。一个启动截止阀是常闭的,并且保证一个大气压下氦气最大泄露为1 x 10-9下有效的关闭。ALICAT 23系列带集成截止阀气体质量流量控制器的详细信息Alicat的23系列质量流量控制器是根据真空涂层和喷溅过程中所要求快速关闭功能而设计的。一个启动截止阀是常闭的,并且保证一个大气压下氦气最大泄露为1 x 10-9下有效的关闭。 特点和优点 · 响应时间50-100ms · 量程 0.5sccm-20slpm · 模拟和数字通信(可选PROFIBUS) · 30种预设定校准气体 · 精度±0.8% 的读数±0.2% 满刻度 · 可选高精度±0.4% 的读数±0.2% 满刻度 · 操作量程1%-100% · 数字显示质量流量、体积流量、绝压和温度 · 无预热时间 · 小巧设计,方便替换其他设备 · 保证标准大气压下氦气最大泄露1 x 10-9的气动截止阀 · 终身维修 |