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供应流量计，多晶硅炉用，BROOKS的简单介绍上海网磁电子有限公司专业供应美国原装、全新 的质量流量计－MFC,BROOKS。专业用于制造 单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用，适用的气体 有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。 气体的最大量程：50－120SLM,数供应流量计，多晶硅炉用，BROOKS的详细信息上海网磁电子有限公司专业供应美国原装、全新的质量流量计－MFC,BROOKS。专业用于制造 单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用，适用的气体 有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。 气体的最大量程：50－120SLM,数字和模拟兼容 电气接口：D型15针 管道接口：3/8"VCR 交货周期：4周左右，长期订货，周期还会短。 可以完全替代和兼容MKS的相关流量计。 Analog I/O Option: • 15-pin D-Connector • 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals • Single sided 24 Volt DC power supply (13.5-27 volts DC range). • Separate Valve-Override signal • Precision 5 Volt Reference Output signal • Compatible with Brooks Model 0150 series secondary electronics • TTL (open collector) Alarm Output signal Digital Communication Options: • DeviceNetTM, ODVATM certified • FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified • HART® based RS-485 multidrop |
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