HVA 真空阀的简单介绍

HVA 真空阀的详细信息

21700 系列三位真空闸阀

真空阀，高真空阀，进口真空阀，不锈钢真空阀

直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小. 这些真空闸阀真空腔内没有机械锁,这样此就非常有益于半导体制造和其他敏感过程要求操作时相对自由振动的. 所有移动的接头都有硬轴,减少微粒的产生并且使驱动更容易. HVA 不锈钢阀体提供了真空阀门业最小的内部表面区域. 阀体和所有主要内部部件在1100 ℃, 1x10E-6Torr的真空炉中焊接的, 确保了最大的完整性. 这就消除了虚漏和缺陷部分, 使在常规状态下焊接出现的阀体变形的可能最小化了. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来. 这款真空闸阀的设计适用于腐蚀,化学蒸汽沉积和其他需要压强控制的工业. 当和上流侧质量流量控制器一起使用时, 该系列真空阀门将有助于不同寻常的压力控制能力. 该真空阀门也被用于消除从粗真空到高真空的障碍. 广泛应用于低温泵、涡轮分子泵、离子泵及其他对清洁度要求高、低除气等高真空及超高真空领域.

21700 系列三位真空闸阀特点

机械预设,遥控过渡阀位

所有三个位置都有指示器

标准或者定制法兰

至少一百万使用周期

21700 系列三位真空闸阀技术参数