等离子表面处理机电源偏移太大这是为什么

　　如需处理请联系专业人员，实际处理过程复杂多变。为什么等离子表面处理机电源出现偏差的原因是：

　　1、真空腔室电极板板正、负极间存在插反现象。

　　2、匹配器电源开关是否关闭;

　　3、电极插针公母头氧化严重，导电不良。

　　4、电源和配电箱之间的连接线缆是否有松动或焊丝脱落。

　　5、等离子表面处理机系统参数是否已设定。

　　检测试运方式如下：

　　自动化模式下保持自动方式：适用于点火位置与配位差不大的系统。

　　1、根据需要将系统连接起来。

　　2、切换至保持，自动，运转状态。

　　3、打开射频。

　　4、自动匹配。

　　5、关闭RF后，系统自动记录匹配的位置，并从下一次开始调整该位置。

　　预先设定下的自动模式：适用于点火位置与配对位置相差较大的系统。

　　1、根据需要将系统连接起来。

　　2、切换到预设的、自动的运转状态。

　　3、射频关，自动调整CaCb的位置，使之在自动状态和预设状态下处于点火位置。

　　4、开射频。

　　5、自动匹配。