一体化显示气体质量流量计

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上海洪柯自动化仪表有限公司推出的D系列气体质量流量计（Mass flow meter，简称MFM）/气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）用于测量/控制微小流量气体流量。微流量气体流量计/控制器最小量程为0-2SCCM(标准毫升每分钟)，最大量程为0-2000SLM(标准升每分钟)，具有精度高、重复性好、量程宽、稳定可靠等特点，在半导体集成电路、特种材料、石化、医药、真空等领域,广泛用于镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体采样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器，也可以用在各类实验室作为流量检验的标准流量计。

气体质量流量计MFM/气体质量流量控制器MFC工作原理
气体质量流量计MFM由传感器、分流器、主通道及电路板等构成，用于测量洁净气体流量。
气体质量控制器MFC除了具有与MFM类似的各个部件外，还有一个流量调节阀及PID控制电路，它不但可以测量气体流量，还可以控制气体流量。
气体通过质量流量控制器（质量流量计）时，大部分气体通过分流器，小部分气体流过流量传感器。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理直接测量气体的质量流量，并将流量传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器进行线性化处理，输出与瞬时流量成正比的电压信号0-5VDC。放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将比较后的差值电压放大后去驱动控制阀门，PID闭环控制，使流过通道的气体流量与设定的气体流量相等。
在气体压力、温度变化的情况下，气体质量流量计（气体质量流量控制器）能精确测量（控制）气体流量。
因为气体质量流量计MFM/气体质量流量控制器MFC测得的是气体的质量流量而不是体积流量，其质量流量单位通常表示为SCCM（标准毫升每分钟）或SLM（标准升每分钟）。