低温泵、冷凝泵

低温真空泵广泛应用于：

1）半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程；

2）光学镜片镀膜；

3）磁控溅射镀膜生产线；

4）空间环境模拟；

5）真空排气台等。

低温真空泵主要特点：

1）低温真空泵是吸附式真空泵，工作时无需前级泵；

2）低温真空泵需要再生；

3）低温真空泵对不同气体具有不同的抽速和抽气容量。

低温真空泵的主要优点：

1）高极限真空度。基本型可达10^-6Pa真空度，特殊要求时可达10^-7Pa以上；

2）大抽速。对空气尤其是对水蒸汽具有超高的抽速，其它真空泵不可比拟；

3）真正洁净。

4）运行成本低

5）安全可靠

6）使用方便

7）使用寿命长