气体混合配比

气体传输：2-8种气体 ， Swagelok卡套连接
气体类型:30种
进气压力：0.1-0.4MPA

控制阀动作型式：常闭式

响应时间(sec)：1S

工作压差：0.05～0.5MPA

最大耐压：3MPA
控制原理：质量流量控制，每个出口单独控制
流量：50SCCM，100SCCM，500SCCM可定做

采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制，并且不会受到温度及压力变化的影响
其他流速可选择 ，其他气体可选择
准确性： 优于1%
数据：输出的数据转换为标准状态下的质量（ 1个大气压，0度）

标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa

控制显示方式：电脑操作

精确控制两种不同气体流量大小，使用其按不同比例（量）均匀混合，并精确控制混合气体流量大小。

可通过电脑软件控制及采集流量信号