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真空扩散泵的简单介绍金属油扩散泵常用于要求抽气时间和排气量大的场合。真空扩散泵的详细信息油扩散真空泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵，简称油扩散泵。其原理是在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。 影响扩散泵性能的主要因素有： (1)扩散泵油蒸气的返流，解决的方法是在真空系统上加装冷阱，能有效地防止油蒸气的返流。 (2)气体分子的反扩散，通过在高真空机组中增加罗茨泵或双机械泵，增大前级泵的抽速，降低扩散泵出气口的压力，这样不仅可减少气体分子的反扩散，而且还能减少油蒸气的返流。 (3)扩散泵油的裂化分解，采用合格的扩散泵油防止裂化分解。 (4)扩散泵脏化，污染物留在泵内重复循环，应对扩散泵进行清洗，并更换泵油。 |
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