MEMS加速度传感器
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MEMS加速度传感器研究项目获78万元立项经费(2013-09-10)
近日，国家自然科学基金委员会获悉，沈阳仪表研究院与沈阳工业大学联合申报的“高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究”项目获得立项批复，项目总经费78万元，执行年限2014年1月至2017年12月。…[详情]
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